“分析儀器”包含所有需要在真空環境下進行分析的所有應用，如電子顯微鏡利用真空環境下不同粒子的散射成像對物質表面微區形貌進行分析，氣相色譜質譜儀利用真空環境不同核質比粒子質譜圖對物質的種類進行分析，氦質譜檢漏儀利用氦氣在真空環境下離子信號對漏率大小進行測定，在表面科學、材料分析、環境分析中也有著廣泛的應用。