光伏，即光伏發電系統，是利用半導體材料的光伏效應，將太陽輻射能轉化為電能的一種發電系統。光伏發電系統的能量來源于取之不盡、用之不竭的太陽能，是一種清潔、安全和可再生的能源。薄膜太陽能電池是一種新型的光伏器件，可以實現光電轉化。在薄膜太陽電池的制備過程中使用各式各樣的沉積技術，在基材上鍍砷化鎵（GaAs）、銅銦硒（CIS）、碲化鎘（CdTe）等材料的薄膜可以大大提高光生電流密度，進而提高轉換效率。太陽能電池的沉積工藝如物理氣相沉積 (PVD) 或等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)均需要在真空環境下進行。