第十屆亞洲和澳大利亞真空與表面科學會議（VASSCAA-10）暨中國真空學會2021學術年會，于2021年10月11-14日在上海召開。VASSCAA是國際真空科學、技術和應用聯盟 (IUVSTA)正式認可、在國際真空科學技術會議章程中規定設立的特別科學會議。中科科儀作為中國高端科學儀器設備和真空技術領導者，受邀參加本次年會。

會上，中科科儀研究員李賞作《磁懸浮分子泵技術及應用》學術報告，系統介紹了磁懸浮分子泵的概況、最新技術成果、市場與應用及發展趨勢。

磁懸浮分子泵作為超高真空獲得設備，是高端科學儀器和集成電路關鍵工藝裝備的核心零部件。因可獲得高潔凈度的超高真空，并在寬壓強范圍內穩定持續排氣能力，同時具備低振動、低功耗、易集成、免維護等特點，磁懸浮分子泵被廣泛應用于工業鍍膜、科研儀器、芯片制造和航空航天等領域。

中科科儀磁懸浮分子泵在性能、可靠性和易用性等方面取得長足進步，已批量應用于高端鍍膜行業，并在刻蝕、離子注入等半導體前道工藝設備上實現突破，助力國產高端科學儀器和集成電路制造關鍵工藝裝備產業鏈自主可控能力提升。

未來，中科科儀將繼續秉承“創新科學儀器，發展一流企業”的使命，聚力核心技術攻關，全力突破“卡脖子”問題，為中國真空技術發展持續貢獻力量。