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            真空獲得

            CXF-200/1401

            產品特點

            • 節能:無摩擦,避免摩擦熱損耗、較其它類型產品能耗降低30%
            • 高效:更長的連續工作時間、高氣流量和高抽速
            • 靈活:緊湊型結構,滿足更小的物理空間需求、任意角度安裝,適合各種設計需求、豐富擴展功能,滿足客戶定制化需求

            應用領域

            科學研究加速器碳化硅晶體晶振光伏Low-E玻璃鍍膜ITO鍍膜光學鍍膜裝飾鍍膜平板顯示真空爐電真空新能源新材料真空干燥低溫制冷薄膜沉積刻蝕離子注入光刻電子器件
            • 技術指標
            • 尺寸
            • 產品特性
            • 配件
            • 下載
          1. 抽速速率(L/s)
            N2:1400? Ar:1360? He:880? H2:560
            壓縮比
            N2:>1E7? Ar:>1E7? He:>1E4? H2:>1E3
          2. 極限壓強(Pa)
            1E-6(橡膠密封)? ?1E-7(金屬密封)??
            進氣口法蘭
            DN200 ISO F(標配)? DN200 CF(可選)? ?DN200 LF(可定制)?
          3. 排氣口法蘭
            KF40
            額定轉速(rpm)
            30000
          4. 啟動時間(min)
            ≤6
            停機時間(min)
            ≤16
          5. 安裝方式
            任意角度
            冷卻方式
            水冷
          6. 推薦前級泵抽速(l/s)
            ≥16
            推薦冷卻水溫度(℃)
            20±5
          7. 供電電源(V AC)

            220±10%,50Hz? ? ? ? ? ??110±10%,60Hz

            重量(kg)(ISO F)
            51
          8. 冷卻水流量(L/min)
            2
            最大瞬時入口流量(sccm)
            N2:1100
          9. 最大連續出口壓強(Pa)
            300
          10. CXF-200/1401型一體磁懸浮分子泵的外形如圖所示,外形對應尺寸詳細數值見表。

            CXF-200/1401型泵外形尺寸參數表(單位:mm

            型號

            CXF-200/1401

            CXF-200/1401

            入口法蘭

            ISO F

            ICF

            A

            388.5

            M

            53

            A

            426

            M

            53

            B

            299.5

            N

            172

            B

            437

            N

            172

            C

            259.5

            O

            42°

            C

            297

            O

            42°

            D

            250.5

            P

            160

            D

            288

            P

            160

            E

            285

            Q

            155

            E

            253

            Q

            155

            F

            241

            R

            30°

            F

            241

            R

            30°

            G

            278

            S

            10

            G

            278

            S

            10

            H

            278

            T

            40

            H

            278

            T

            40

            I

            139

            U

            95

            I

            139

            U

            95

            J

            139

            V

            202

            J

            139

            V

            202

            K

            101

            W

            53.5

            K

            101

            W

            53.5

            L

            192

            ?

            ?

            L

            192

            ?

            ?

            文件名 類型 語言 日期 文件大小

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